| 发明名称 |
Apparatus for and methods of implanting desired chemical species in semiconductor substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2325561(B) |
申请公布日期 |
2001.10.17 |
| 申请号 |
GB19970010381 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
* APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
MICHAEL T * WAUK II;DENNIS W * WAGNER;MATTHEW D SCOTNEY * CASTLE;BABAK * ADIBI |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/02 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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