| 发明名称 |
Fabrication system with extensible equipment sets |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1146451(A2) |
申请公布日期 |
2001.10.17 |
| 申请号 |
EP20010104510 |
申请日期 |
2001.03.02 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BACHRACH, ROBERT Z.;MORAN, JOHN CHRISTOPHER |
| 分类号 |
B65G49/07;G06Q10/00;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):G06F17/60 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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