| 摘要 |
<p>본 발명은 리니어 스텝 모터를 이용한 XY-스테이지 및 그 제어 시스템에 관한 것으로서, XY-스테이지는, 인가된 전류의 방향에 따라 대응되는 방향의 자력을 발생시키는 인덕터를 가지며 X, Y축 방향의 리니어 스텝 운동 및 미소 회전 운동을 하는 가동 부재와, 그 가동 부재의 하부에 위치되어 가동 부재를 지지하는 것으로, 그 표면에는 가동 부재의 X, Y방향의 리니어 스텝 운동 및 미소 회전 운동을 가능하게 하기 위한 다수의 돌기들이 상호 소정 간격을 두고 형성되어 있는 고정 부재를 포함한다. 또한, 그 제어 시스템은, 가동 부재의 X축 및 Y축상의 현재 위치값 및 현재 회전값을 검출하기 위한 검출부와, 검출부로부터의 검출 신호에 의해 현재 위치값 및 현재 회전값을 연산하고, 현재 위치값과 목표 위치값과의 편차인 위치 오차값과, 현재 회전값과 목표 회전값과의 편차인 회전 오차값과, 목표 가속도값을 연산하여 출력하는 연산 장치와, 위치 오차값 및 회전 오차값에 비례, 적분 및 미분 제어를 수행하고, 그 결과값에 목표 가속도값을 가산하여 상기 오차를 보상하는 오차 보상부와, 오차 보상부로부터의 출력값을 진폭으로 갖는 정현파 신호를 출력하는 정현파 변환부, 및 정현파 신호를 상기 전류 명령 신호로 변환하여 상기 가동 부재로 입력시키는 전류 명령 발생부를 포함한다.</p> |
