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发明名称 METHOD FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
摘要
申请公布号 EP1145306(A1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19990971582 申请日期 1999.10.27
申请人 TELEFONAKTIEBOLAGET LM ERICSSON 发明人 NYSTROEM, JAN, CHRISTIAN;JOHANSSON, TED
分类号 H01L21/331;H01L21/77;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/77 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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