发明名称 WAFER PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1145288(A1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP20000982387 申请日期 2000.11.30
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KURIBAYASHI, HIROMITSU;YOO, WOO, SIK
分类号 B25J9/06;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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