微波等离子体源

摘要

本发明涉及一种离子注入表面改性、等离子增强沉积及离子氮化的等离子体源。采用真空弯波导，在线圈内腔与波导之间的空间里填充铁芯，并在线圈波导一侧的端头加装铁芯盖，以及线圈外围排置导磁条。由于使用了真空弯波导，从结构上避免了窗口受高能离子轰击以及沉积膜层的现象，窗口工作时间由原来的3－4小时提高到可长期连续工作基本不沉积；铁芯和磁路的使用，大大降低了线圈的工作电流，线圈的发热大约减小为原来的1/4。

主权项

1．一种微波等离子体源，其特征是，采用真空弯波导，使石英窗口远离真空室及工艺区，放电发生在谐振腔一侧；在线圈内腔与波导之间的空间里填充铁芯，并在线圈波导一侧的端头加装铁芯盖，以堵住向外扩散的磁力线，在线圈外围排置导磁条，以形成开口朝向真空室的磁路。