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发明名称 INDIUM SOURCE REAGENT COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 EP1144718(A1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19990966351 申请日期 1999.12.20
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 XU, CHONGYING;BAUM, THOMAS
分类号 C07C49/92;C07C55/02;C07C55/32;C07C59/195;C07C59/21;C07F5/00;C23C14/48;C23C16/18;H01L21/265;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/00;H01L29/76 主分类号 C07C49/92
代理机构 代理人
主权项
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