PLASMA TREATMENT FOR POLYMER REMOVAL AFTER VIA ETCH,申请号EP20000961980-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATMENT FOR POLYMER REMOVAL AFTER VIA ETCH
摘要
申请公布号	EP1145297(A1)	申请公布日期	2001.10.17
申请号	EP20000961980	申请日期	2000.09.21
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES INC.	发明人	RAKHSHANDEHROO, MOHAMMAD, R.;CHANG, MARK, S.;HUI, ANGELA, T.
分类号	H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311	主分类号	H01L21/311
代理机构		代理人
主权项
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