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发明名称 Pattern forming material and pattern forming method
摘要
申请公布号 EP0791856(B1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19970101914 申请日期 1997.02.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 MATSUO, TAKAHIRO;ENDO, MASAYUKI;SHIRAI, MASAMITSU;TSUNOOKA, MASAHIRO
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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