发明名称 Method and equipment for the application of wear resistant coatings by high vacuum physical vapour deposition
摘要
申请公布号 EP0752482(B1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19960810433 申请日期 1996.07.01
申请人 BERGMANN, ERICH 发明人 BERGMANN, ERICH
分类号 C23C14/24;C23C14/02;C23C14/54;C23C14/58;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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