| 发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR DRYING DISK-LIKE OBJECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG83797(A1) |
申请公布日期 |
2001.10.16 |
| 申请号 |
SG20000003119 |
申请日期 |
2000.06.03 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOR FUR DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
HANS-JURGEN KRUWINUS |
| 分类号 |
F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
F26B21/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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