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发明名称 ALUMINIUM-NEODYMIUM ETCH PROCESS WITH HYDROGEN IODIDE
摘要
申请公布号 SG83812(A1) 申请公布日期 2001.10.16
申请号 SG20000004729 申请日期 2000.08.19
申请人 APPLIED KOMATSU TECHNOLOGY, INC. 发明人 KAI-AN WANG;TZY-CHUNG WU;HARUHIRO H. GOTO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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