NICKEL/VANADIUM SPUTTERING TARGET WITH ULTRA-LOW ALPHA EMISSION,申请号SG20000001548-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	NICKEL/VANADIUM SPUTTERING TARGET WITH ULTRA-LOW ALPHA EMISSION
摘要
申请公布号	SG83779(A1)	申请公布日期	2001.10.16
申请号	SG20000001548	申请日期	2000.03.17
申请人	PRAXAIR S. T. TECHNOLOGY, INC.	发明人	RAYMOND K. F. LAM;GIUSEPPE COLLELA;TONY SICA
分类号	B22D21/00;C22F1/00;C22F1/10;C23C14/34;H01F41/18;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	B22D21/00
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