SECTIONAL CLAMP RING,申请号SG20000000892-传众专利搜索

发明名称	SECTIONAL CLAMP RING
摘要
申请公布号	SG83776(A1)	申请公布日期	2001.10.16
申请号	SG20000000892	申请日期	2000.02.18
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	MICHAEL BABASSI;DAVID HUTNICK
分类号	H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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