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发明名称
摘要
申请公布号	JP2001518708(A)	申请公布日期	2001.10.16
申请号	JP20000514319	申请日期	1998.09.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/26;H01L21/28;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/26;H01L21/824	主分类号	H01L21/26
代理机构		代理人
主权项
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