| 主权项 |
1.一种制造气体混合物之装置,气体混合物为液态离析化合物(例如HMDSO)与载体气体(例如氧气)之混合物,以做为反应气体,其特征在于:在一细长且实质上垂直设置的可冷却塔(1)内设有互相叠置的多个填料包(2),塔(1)上部固设从塔(1)外侧伸入塔内的一进给管部(3)以及向外延伸的一气体出口管(6),并设有测量排出的气体混合物之温度、压力及量的装置(26)。2.如申请专利范围第1项之装置,其中塔(1)底部(20)连接一液体感测器和供过多液体用之可由一阀(24)关闭的一条排放管(23)。3.如申请专利范围第1项之装置,其中在进给管部(3)的内释出端(4)下方设有延伸于塔(1)的横截面且具有气体通孔(38)的一分割钵(29)。4.如申请专利范围第1项之装置,其中分割钵(29)的中心区(30)为中心板部(33),中心板部设有通孔(34),且外侧由气体通孔(38)围绕。5.如申请专利范围第1项之装置,其中分割钵(29)的中心板部(33)在通孔(32,34)之间封闭且由一中心环元件(35)支撑。6.如申请专利范围第1项之装置,其中中心板部(33)呈一筛板,且由一中心环元件(35)支撑。7.使用如申请专利范围第1项之装置来包覆中空体(12)的内表面。图式简单说明:第一图为主系统概示图,其中央为制造气体混合物之装置。第二图为本发明之塔的横截面图,塔内无分割钵。第三图为本发明之塔的横截面图,塔内有一分割钵。第四图为第三图一部分放大图。第五图为具一封闭中心板部及通孔的一分割钵立体图。第六图为具一嵌入筛板之一分割钵另一实施例。 |
