| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Strukturierung von Substraten (wie in FIG. 1 gezeigt), worin auf die Substratoberfläche über eine Sonde, die in Kontakt mit der Substratoberfläche steht, lokale mechanische Kräfte derart ausgeübt werden, dass kovalente, ionische, koordinative, Wasserstoffbrücken-, van der Waalssche oder metallische Bindungen des das Substrat aufbauenden Festkörperverbundes gebrochen werden und dadurch ein Materialabtrag in Form von einzelnen Atomen, Molekülen, Atomgruppen und/oder Radikalen aus dem Festkörperverbund erfolgt, wobei in Abhängigkeit von dem Substratmaterial pro Arbeitsschritt der Materialabtrag in lateraler Richtung bis zu 200 atomare Gitterkonstanten oder Subgitterkonstanten des das Substrat aufbauenden Festkörpers beträgt.</p> |
