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发明名称 PROZESSKAMMER MIT INNERER TRAGSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DE69612389(T2) 申请公布日期 2001.10.11
申请号 DE19966012389T 申请日期 1996.08.01
申请人 ASM AMERICA INC., PHOENIX 发明人 WENGERT, F.;JACOBS, R.;HALPIN, W.;FOSTER, W.;VAN DER JEUGD, A.;VYNE, M.;HAWKINS, R.
分类号 B01J3/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/48;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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