| 发明名称 |
IMPIANTO DI DEPOSIZIONE DI FILM SOTTILI A SETTORI DIFFERENZIATI, CONTECNICHE ASSISTITE DA PLASMA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1306891(B1) |
申请公布日期 |
2001.10.11 |
| 申请号 |
IT1999RM00106 |
申请日期 |
1999.02.16 |
| 申请人 |
CE.TE.V. CENTRO TECNOLOGIE DEL VUOTO |
发明人 |
MISIANO CARLO |
| 分类号 |
B05D7/24;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/22 |
主分类号 |
B05D7/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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