| 摘要 |
<p>Piezokeramischer Biegewandler (1) mit einem flachen Tragkörper (2) und einer darauf mindestens einseitig aufgebrachten polarisierten Blei-Zirkonat-Titan-Piezokeramik (3). Für eine geringe thermische Eigenverbiegung sind erfindungsgemäß als Materialien für den Tragkörper (2) eine Nickel/Kobalt/Eisen-Legierung, eine Nickel/Eisen-Legierung und ein Silizium/Germanium-Halbleimaterial angegeben, wobei der thermische Ausdehnungskoeffizient des Tragkörpers (2) an den der Piezokeramik (3) angepasst ist.</p> |
