| 摘要 |
Ein Sondenelektronenmikroskop wird bereitgestellt, das in der Lage ist, wiederholt Bilder der Form einer Probe etc. mit einem hohen Maß an Genauigkeit zu reproduzieren, ohne von der Umgebung beeinflusst zu werden. Ein Sondenelektronenmikroskop der vorliegenden Erfindung weist eine mikroskopische Ansteuereinrichtung für die mikroskopische Verschiebung einer Probe oder Sonde in X-, Y- und Z-Richtung, eine Versatzdetektoreinrichtung, die in der Lage ist, den Versatz der mikroskopischen Ansteuereinrichtung in X-, Y- und Z-Richtung zu messen, sowie eine Bildkorrektureinrichtung zur Aufzeichnung der von jeder Versatzdetektoreinrichtung ausgegebenen Werten als Matrixdaten und zur Erzeugung eines Bildes aus der aufgezeichneten Datenmatrix mit den relativen Positionen bezüglich der korrigierten X-, Y- und Z-Richtung auf. Eine Steuerung 14 steuert eine Messeinheit 13. Des weiteren werden Ausgangswerte für jeden Versatzsensor an eine Betriebs-/Anzeige-Einrichtung 16 geschickt, die an der Steuerung 14 angebaut ist. Die Ausgangsdaten der X-, Y- und Z-Sensoren werden von der Betriebs-/Anzeige-Einrichtung 16 an ein Bildkorrekturprozessorgerät 15 geschickt und verarbeitet.
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