摘要 |
Eine Irisblende, insbesondere für ein Belichtungsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie, ist mit einem Blendenboden (2) und mit einem Nutenring (1), welche relativ zueinander drehbar sind, mit einer Vielzahl von Lamellen (4), die jeweils in dem Blendenboden (2) und in dem Nutenring (1) gelagert und durch im Nutenring (1) angeordnete Kurvenbahnen (6) zur Verstellung der Blendenöffnung geführt sind, versehen. Eine Antriebseinrichtung (11) dient zur Verdrehung von Blendenboden (2) und Nutenring (1) zueinander. Die Kurvenbahnen sind als Umlaufbahnen (6) in dem Nutenring (1) ausgebildet. Die Umlaufbahn (6) ist in sich abwechselnde Nutzbereichskurven (6a) und Rückführkurven (6b) aufgeteilt. Der Blendenboden (2) oder der Nutenring (1) ist durch eine Antriebseinrichtung (11) in eine vorgewählte Antriebsdrehrichtung drehbar, wobei die Lamellen (4) umlaufend in der Umlaufbahn (6) geführt sind.
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