发明名称 Irisblende
摘要 Eine Irisblende, insbesondere für ein Belichtungsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie, ist mit einem Blendenboden (2) und mit einem Nutenring (1), welche relativ zueinander drehbar sind, mit einer Vielzahl von Lamellen (4), die jeweils in dem Blendenboden (2) und in dem Nutenring (1) gelagert und durch im Nutenring (1) angeordnete Kurvenbahnen (6) zur Verstellung der Blendenöffnung geführt sind, versehen. Eine Antriebseinrichtung (11) dient zur Verdrehung von Blendenboden (2) und Nutenring (1) zueinander. Die Kurvenbahnen sind als Umlaufbahnen (6) in dem Nutenring (1) ausgebildet. Die Umlaufbahn (6) ist in sich abwechselnde Nutzbereichskurven (6a) und Rückführkurven (6b) aufgeteilt. Der Blendenboden (2) oder der Nutenring (1) ist durch eine Antriebseinrichtung (11) in eine vorgewählte Antriebsdrehrichtung drehbar, wobei die Lamellen (4) umlaufend in der Umlaufbahn (6) geführt sind.
申请公布号 DE10016925(A1) 申请公布日期 2001.10.11
申请号 DE20001016925 申请日期 2000.04.05
申请人 CARL ZEISS 发明人 BISCHOFF, THOMAS
分类号 G03B9/24;G02B5/00;G02B26/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/00;G03B9/06 主分类号 G03B9/24
代理机构 代理人
主权项
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