| 摘要 |
Ein Verfahren zum Einstellen der Frequenz eines elektronischen Komponentenbauelements umfaßt den Schritt des Ätzens einer Elektrode, die auf einer Oberfläche des elektronischen Komponentenbauelements angeordnet ist, durch Ausstrahlen eines Ionenstrahls auf die Elektrode. Die Ionenstrahlbestrahlung wird durchgeführt, während zumindest entweder das elektronische Komponentenbauelement oder der Ionenstrahl in Richtungen entlang der Oberfläche, auf der die Elektrode angeordnet ist, bewegt werden. |
