光纤光栅滤波器真空封装工艺及装置

摘要

一种光纤光栅滤波器真空封装工艺及装置，采用一段裸光纤，剥去护套层，用双束准分子激光聚焦照射裸光纤使之形成1550nm光纤光栅，调整双光束激光相干长度和光程及双光束夹角，形成1550nm在C波段和L波段上不同波长的滤波器光栅，用一玻璃套管完全套进该光纤光栅，用两个镀金无磁不锈钢套管，完全套封玻璃套管两端和光纤，并用环氧树脂密封固定玻璃套管两端，在玻璃套管外层，再套入一个镀金无磁不锈钢真空套管，焊接密封玻璃套管两端的不锈钢套管。

主权项

1，一种光纤光栅滤波器真空封装工艺及装置，其特征在于：(1)采用一段裸光纤，剥去护套层，用双束准分子激光(波长244-255um，输出功率5W)聚焦照射裸光纤5-10秒，使之形成1550nm光纤光栅。(2)调整双光束激光相干长度和光程及双光束夹角，形成1550nm在C波段和L波段上不同波长的滤波器光栅。(3)用一玻璃套管完全套进该光纤光栅，在真空箱内放置0.5小时，真空箱的真空度达到10-3乇，通过真空箱玻璃窗口，开孔引进导光纤，用紫外光源照射玻璃套管两端，用环氧树脂粘结，由紫外光源照射使其密封固化。(4)用两个镀金无磁不锈钢套管，完全套封玻璃套管两端和光纤，并用环氧树脂密封固定玻璃套管两端。(5)在上述玻璃套管外层，再套入一个镀金无磁不锈钢真空套管，用焊接法焊接密封玻璃套管两端的不锈钢套管。(6)将光纤光栅滤波器放在真空度10-3的真空箱内保持30分钟后，通过密封焊接支杆，将真空箱上的抽气孔焊接密封，该焊接支杆是通过真空箱玻璃窗口开孔接入。(7)在-40℃到80℃环境温度中循环500小时，形成该光纤光栅滤波器装置。