发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2351391(B) 申请公布日期 2001.10.10
申请号 GB20000021655 申请日期 1999.11.30
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 TOSHIYUKI * HIROTA
分类号 H01L21/02;H01L21/316;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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