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发明名称 APPARATUS FOR PROCESSING WAFERS
摘要
申请公布号 EP1142002(A1) 申请公布日期 2001.10.10
申请号 EP19990963012 申请日期 1999.12.02
申请人 SILICON VALLEY GROUP, INC. 发明人 PARK, JAE, HEON
分类号 H01L21/677;B65G49/07;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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