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发明名称 METHOD FOR DEPOSITING PHOTORESIST ONTO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1141779(A1) 申请公布日期 2001.10.10
申请号 EP20000900004 申请日期 2000.01.03
申请人 STEAG RTP SYSTEMS, INC. 发明人 THAKUR, RANDHIR, P., S.
分类号 B05D1/02;B05D1/40;B05D3/06;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 B05D1/02
代理机构 代理人
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