ARRAY OF MULTIPLE CHARGED PARTICLE BEAMLET EMITTING COLUMNS,申请号EP20000982596-传众专利搜索

发明名称	ARRAY OF MULTIPLE CHARGED PARTICLE BEAMLET EMITTING COLUMNS
摘要
申请公布号	EP1141995(A1)	申请公布日期	2001.10.10
申请号	EP20000982596	申请日期	2000.08.31
申请人	ETEC SYSTEMS, INC.	发明人	MANKOS, MARIAN;CHANG, TAI-HON, P.;LEE, KIM, Y.;BERGLUND, C., NEIL
分类号	G03F7/20;H01J37/073;H01J37/28;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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