发明名称 |
包含平行的固定和活动反射器的光学分插开关及其制造方法 |
摘要 |
光学分插开关包括诸如固定反射镜的固定反射器和诸如活动反射镜的活动反射器,其中,当活动反射器处于辐射反射位置时,没有一个固定反射器和一个活动反射镜彼此正交取向,优选每个固定的和活动的反射器与其余的固定的和活动的反射器平行或成70°角,更优选固定反射器和活动反射器在衬底上均平行取向。通过设置这种固定和活动反射器的取向,可以利用湿刻法在硅衬底上沿单晶学平面制造光学分插开关。由此提供高性能的光学分插开关。 |
申请公布号 |
CN1316658A |
申请公布日期 |
2001.10.10 |
申请号 |
CN01116220.1 |
申请日期 |
2001.04.05 |
申请人 |
克罗诺斯集成微系统公司 |
发明人 |
爱德华·A·希尔 |
分类号 |
G02B6/26 |
主分类号 |
G02B6/26 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王茂华 |
主权项 |
1.一种光学分插开关,包括:一个衬底(310);一个在衬底上接收光辐射的ADD光路(340);一个在衬底上接收光辐射的IN光路(320);一个在衬底上传送光辐射的OUT光路(330);一个在衬底上传送光辐射的DROP光路(350);固定地耦接在衬底上的多个固定反射器(380,390);和活动耦接在衬底上的多个活动反射器(360,370),用于移向和离开辐射反射位置;其中固定反射器和活动反射器分布在衬底上以选择性地耦接IN光路和OUT光路、IN光路和DROP光路以及ADD光路和OUT光路;其特征在于:衬底上没有一个固定反射器(380,390)与另一个正交取向;和当处于辐射反射位置时,衬底上没有一个活动反射器(360,370)与另一个正交取向。 |
地址 |
美国北卡罗来纳州 |