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发明名称
摘要
申请公布号	JP3216709(B2)	申请公布日期	2001.10.09
申请号	JP19980198919	申请日期	1998.07.14
申请人		发明人
分类号	G01R31/302;H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/153	主分类号	G01R31/302
代理机构		代理人
主权项
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