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发明名称
摘要
申请公布号 JP3216807(B2) 申请公布日期 2001.10.09
申请号 JP19980280869 申请日期 1998.10.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/24;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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