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发明名称 Method of and apparatus for the coating of a substrate with material electrically transformed into a vapor phase
摘要
申请公布号 US4609564(C2) 申请公布日期 2001.10.09
申请号 US19830494302 申请日期 1983.05.13
申请人 MASCO VT, INC. 发明人 PINKHASOV EDUARD
分类号 C23C14/24;C04B41/81;C23C14/22;C23C14/32;F03H99/00;H01J37/32;H05K1/03;H05K3/38;(IPC1-7):H01T14/00;H01T1/20;C23C14/00;C23C14/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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