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发明名称
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF FERAM CAPACITORS
摘要
申请公布号
KR20010089510(A)
申请公布日期
2001.10.06
申请号
KR1020017006595
申请日期
2001.05.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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