发明名称 INTEGRATED-CIRCUIT MANUFACTURING USING HIGH INTERSTITIAL-RECOMBINATION-RATE BLOCKING LAYER FOR SOURCE/DRAIN EXTENSION IMPLANT
摘要
申请公布号 EP1138074(A1) 申请公布日期 2001.10.04
申请号 EP20000957940 申请日期 2000.09.01
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;PHILIPS SEMICONDUCTORS INC 发明人 RUBIN, MARK, E.
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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