| 摘要 |
<p>Insbesondere zum schnellen und berührungslosen Testen von großflächigen Leiterplatten auf eventuelle Produktionsfehler in Form von Kurzschluß oder Unterbrechung in den Leiterbahnen wird ein Elektronenspektrometer für flächige Proben vorgeschlagen, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß der sensitive Bereich in der Probenebene, in dem Sekundärelektronen nachgewiesen werden, in einer ersten Richtung sehr viel größer als in der zur besagten ersten Richtung senkrechten Richtung ist und daß die Probe in der besagten ersten Richtung vollständig vom Spektrometer erfaßt wird.</p> |
