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发明名称 Method and apparatus for ion beam neutralization
摘要
申请公布号 EP0822571(A3) 申请公布日期 2001.10.04
申请号 EP19970305547 申请日期 1997.07.24
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 CHEN, JIONG;BENVENISTE, VICTOR MAURICE
分类号 C23C14/48;H01J37/02;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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