Messvorrichtung für Oberflächenstrukturen, Messverfahren für Oberflächenstrukturen und Messvorrichtung für den Tasterradius

摘要

En Taster wird entlang der Oberfläche eines Werkstücks bewegt und die Oberflächenstruktur des Werkstücks wird auf der Basis der Verschiebung des Tasters in Z-Richtung gemessen. Eine kugelförmige Prüflehre mit bekanntem Radius wird mit dem Taster im voraus gemessen und es werden Radiuswerte r der Kugel der Spitze des Tasters entsprechend dem Winkel berechnet, indem der Radius R der Prüflehre von den gemessenen Werten subtrahiert wird. Die tatsächliche Kontur des Werkstücks wird unter Verwendung der Radiuswerte r als Korrekturdaten entsprechend dem Winkel und Subtrahieren der Korrekturwerte entsprechend dem Winkel von den gemessenen Daten berechnet, die durch Bewegung entlang der Oberfläche des Werkstücks erhalten werden.