发明名称 COHERENT GRADIENT SENSING ELLIPSOMETER
摘要 Systems (100) and techniques for integrating an optical coherent gradient sensing (CGS) module (134) and another optical sensing module (133) to simultaneously measure the curvature and another property of a specularly reflective surface (130).
申请公布号 WO0173376(A1) 申请公布日期 2001.10.04
申请号 WO2001US09809 申请日期 2001.03.27
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;BOYD, DAVID, A.;ROSAKIS, ARES, J.;OWEN, DAVID, M. 发明人 BOYD, DAVID, A.;ROSAKIS, ARES, J.;OWEN, DAVID, M.
分类号 G01B11/06;G01B11/255;(IPC1-7):G01B11/06;G01J4/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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