| 发明名称 |
Surface inspection using the ratio of intensities of S- and P-polarized light components of a laser beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2348491(B) |
申请公布日期 |
2001.10.03 |
| 申请号 |
GB20000013801 |
申请日期 |
1999.04.06 |
| 申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
MASAO * WATANABE;AKIKO * OKUBO |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/21;G01N21/94;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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