发明名称 一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩
摘要 一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩,该磁力导片包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面,经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽,该磁力导片的粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方,该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合,该粘剂虽流入粘接面但不致溢流出粘接面,并且当粘剂过多时能够存留于凹槽内待干。
申请公布号 CN1315744A 申请公布日期 2001.10.03
申请号 CN00106011.2 申请日期 2000.03.29
申请人 新台科技股份有限公司 发明人 潘焕章
分类号 H01L21/77;G03F7/00 主分类号 H01L21/77
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 李树明
主权项 1、一种磁力导片,包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面,其特征在于:经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽,该粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方,该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合。
地址 中国台湾