发明名称 | 一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩 | ||
摘要 | 一种磁力导片及其制造方法以及使用该磁力导片的光罩,该磁力导片包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面,经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽,该磁力导片的粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方,该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合,该粘剂虽流入粘接面但不致溢流出粘接面,并且当粘剂过多时能够存留于凹槽内待干。 | ||
申请公布号 | CN1315744A | 申请公布日期 | 2001.10.03 |
申请号 | CN00106011.2 | 申请日期 | 2000.03.29 |
申请人 | 新台科技股份有限公司 | 发明人 | 潘焕章 |
分类号 | H01L21/77;G03F7/00 | 主分类号 | H01L21/77 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 李树明 |
主权项 | 1、一种磁力导片,包含一粘接面及一与该粘接面呈相对的非粘接面,其特征在于:经研磨的该粘接面上设有至少一凹槽,该粘接面以粘剂粘贴于该光罩的下方,该粘剂自该凹槽中注入并充满该凹槽且流入该粘接面与该光罩粘合。 | ||
地址 | 中国台湾 |