有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法

摘要

本发明属于硅基集成有机微光机械振动/加速度传感结构及其有机微光机械传感结构的制备方法。由单通道输入波导、多模干涉耦合器、双通道输出波导和微机械振动悬臂梁组成,采用有机光学材料制备微光机械结构的方法使得制备工艺简单、成本降低,实用。采用有机光学材料的可选择范围比无机光学材料大并可以进行分子结构合成改性,满足优化设计需要,采用有机光学材料制备悬臂梁,其弹性系数等力学参数可在很宽范围内调整,能提高器件的灵敏度和动态范围。

主权项

1、一种用于振动/加速度传感器的硅基集成有机微光机械传感结构，由单通道输入波导4、多模干涉耦合器5、双通道输出波导6和微机械振动悬臂梁7所构成，其特征在于：单通道输入波导4、多模干涉耦合器5、双通道输出波导6和微机械振动悬臂梁7均由有机光学厚膜衬底9、有机光波导芯层10、有机光学厚膜包覆层11组成，单通道输入波导4集成于微机械振动悬臂梁7之上，其输出端与多模干涉耦合器5输入端相对，多模干涉耦合器5位于单通道输入波导4的输出端位置，其输入端与单通道输入波导4的输出端相对，输出端与双通道输出波导6输入端连接。有机光波导芯层10附着于有机光学厚膜衬底9之上，有机光学厚膜包覆层11包覆于有机光波导芯层10和有机光学厚膜衬底9之上，整个有机微光机械传感结构1附着于硅基片8上，微机械振动悬臂梁7的一端与有机膜层连接，另一端自由悬空。