| 发明名称 |
Loesung zum Mattaetzen von Halbleiterkoerpern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1209844(B) |
申请公布日期 |
1966.01.27 |
| 申请号 |
DE1958T015727 |
申请日期 |
1958.10.08 |
| 申请人 |
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. |
发明人 |
SCHWARZENBERGER HORST |
| 分类号 |
C23C18/24;H01L21/00;H01L21/288 |
主分类号 |
C23C18/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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