| 主权项 |
1.一种晶盒储存之设备,该设备至少包含:复数个晶盒储存搁板;以及一晶盒移动装置,用以于该晶盒储存搁板与一装卸机台之间搬运晶盒,该晶盒移动装置包含一支撑元件以及一抓取器(end effector),其中该支撑元件系设置于该晶盒储存搁板之前,并且该支撑元件可在一平行该晶盒储存搁板之路径上移动,该抓取器系用以与该晶盒啮合,并且系以可移动之方式连结于该支撑元件。2.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述晶盒储存搁板系紧邻于一无尘室墙板设置。3.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述晶盒储存搁板系设置于上述装卸机台之上。4.如申请专利范围第1项所述之设备,更包含一框架(frame),用以支撑上述晶盒储存搁板以及上述支撑元件。5.如申请专利范围第4项所述之设备,其中上述框架大致上系低于上述装卸机台。6.如申请专利范围第4项所述之设备,其中上述抓取器系以可滑动之方式联结于上述框架。7.如申请专利范围第6项所述之设备,其中上述抓取器系连结于一第一滑块,该第一滑块系以可滑动之方式与第一垂直导轨啮合。8.如申请专利范围第7项所述之设备,其中上述支撑元件系连结于一第二滑块,该第二滑块系以可滑动之方式与第二水平导轨啮合,并且该第二水平导轨系连结于上述框架。9.如申请专利范围第8项所述之设备,更包含一第一螺杆,该第一螺杆与上述第一滑块以及一第一驱动马达啮合,该第一驱动马达系用以转动该第一螺杆,以及驱动上述第一滑块沿着上述第一导轨垂直地移动上述抓取器。10.如申请专利范围第9项所述之设备,更包含一第二螺杆,该第二螺杆与上述第二滑块以及一第二驱动马达啮合,该第二驱动马达系用以转动该第二螺杆,以及驱动上述第二滑块沿着上述第二导轨水平地移动上述支撑元件以及上述抓取器。11.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述晶盒储存搁板系以成垂直列(column)之方式配置于上述装卸机台上方。12.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述抓取器包含一勾型指状部件,用以与晶盒上表面之凸缘的底面啮合。13.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述晶盒储存搁板包含复数个卡榫,该卡榫垂直突起于上述晶盒储存搁板之上,用以与晶盒底部相对应之凹陷啮合。14.一种晶盒储存之设备,该设备至少包含:复数个晶盒储存搁板,该晶盒储存搁板系紧邻于一墙板,并且位于复数个装卸机台之上;以及一晶盒移动装置,用以于该晶盒储存搁板与该装卸机台之间搬运晶盒,该晶盒移动装置包含一支撑元件以及一抓取器(end effector),其中该支撑元件系设置于该晶盒储存搁板之前,并且该支撑元件可在一平行该墙板之路径上移动,该抓取器系用以与该晶盒啮合,并且系以可移动之方式连结于该支撑元件。15.如申请专利范围第14项所述之设备,其中上述晶盒储存搁板系成直列(column)配置于每一装卸机台之上。16.如申请专利范围第14项所述之设备,其中上述相邻晶盒储存搁板所成之直列系被一垂直通道所隔离,并且上述晶盒移动装置藉由该垂直通道垂直地将一晶盒搬运至一选定之晶盒储存搁板,以便将该晶盒置于邻近该选定之晶盒储存搁板的上方,然后水平地将该晶盒置于该选定之晶盒储存搁板的上方。17.一种制造系统,至少包含:一第一处理机台,用以执行第一制程步骤于一基板上,该第一处理机台包含第一装卸机台、复数个第一晶盒储存搁板以及第一晶盒移动装置,其中该第一晶盒储存搁板系位于该第一装卸机台之上,该第一晶盒移动装置系用以于该第一晶盒储存搁板与该第一装卸机台之间搬运晶盒;一第二处理机台,用以于该基板上执行第二制程步骤,该第二处理机台包含第二装卸机台、复数个第二晶盒储存搁板以及第二晶盒移动装置,其中该第二晶盒储存搁板系位于该第二装卸机台之上,该第二晶盒移动装置系用以于该第二晶盒储存搁板与该第二装卸机台之间搬运晶盒;一跨机台晶盒移动装置,用以于该第一晶盒储存搁板与该第二晶盒储存搁板之间搬运晶盒。18.如申请专利范围第17项所述之制造系统,其中上述第一处理机台系用以执行第一制程步骤。19.如申请专利范围第18项所述之制造系统,其中上述第二处理机台系一量测机台。20.如申请专利范围第17项所述之制造系统,其中上述晶盒储存搁板系成直列(column)配置于装卸机台之上,并且上述跨机台晶盒移动装置系于该复数个第一晶盒储存搁板之最上层搁板与该复数个第二晶盒储存搁板之最上层搁板间搬运晶盒。21.如申请专利范围第17项所述之制造系统,其中上述跨机台晶盒移动装置包含一晶盒移动装置、一支撑元件以及一抓取器(end effector),其中该支撑元件系设置于该晶盒储存搁板之前,并且该支撑元件可在一平行该墙板之路径上移动,该抓取器系用以与该晶盒啮合,并且该抓取器可以一相位垂直于该支撑元件之方式移动。22.一种半导体处理机台,至少包含:一处理系统,用以执行第一制程步骤于一基板上;一墙板介面,用以使该处理系统与一无尘室隔离;一装卸机台,位于该无尘室中,用以支撑一晶盒;一开口,位于该墙板介面上;一基板输送臂,经由该开口将基板于该处理系统与该装卸机台之间相互转移;一载入平台,位于该无尘室中且邻近该装卸机台;及一晶盒储架,位于该无尘室中,该晶盒储架至少包含:i)复数个搁板(shelves),以成一直列的方式设置于该装卸机台之上;及ii)一晶盒移动装置,用以于该搁板、该载入平台与该装钾机台之间搬运晶盒,该晶盒移动装置包含一支撑元件以及一抓取器(end effector),其中该支撑元件系设置于该搁板之前,并且该支撑元件可在一平行该搁板之路径上移动,该抓取器系用以与该晶盒啮合,并且该抓取器系以一可滑动之方式与该支撑元件连结。23.一种操作处理机台之方法,该方法至少包含下列步骤:储存复数个晶盒于复数个晶盒储存搁板上,该晶盒储存搁板邻近于一无尘室墙板且位于一装卸机台上方;以一晶盒移动装置将晶盒携至该装卸机台;将一基板自该晶盒移出;且以该晶盒移动装置将该晶盒送回该晶盒储存搁板。24.一种储存晶盒之设备,至少包含:一个或多个装卸机台,该装卸机台邻近于一无尘室墙板;及一个或多个晶盒储存搁板,该晶盒储存搁板系邻近于该无尘室墙板以及该装卸机台设置。25.如申请专利范围第24项所述之设备,其中上述晶盒储存搁板条设置该装卸机台上方。26.如申请专利范围第25项所述之设备,更包含一晶盒移动装置,该晶盒移动装置系邻近于该装卸机台以及该晶盒储存搁板设置。27.如申请专利范围第26项所述之设备,其中上述晶盒移动装置包含一垂直滑块以及一横向滑块。28.如申请专利范围第27项所述之设备,更包含一载入平台,该载入平台系邻近于该装卸机台设置。29.如申请专利范围第28项所述之设备,更包含一围墙围绕于该装卸机台、该载入平台以及该晶盒储存搁板的四周。图式简单说明:第一图为本发明之处理机台的结构俯视图。第二图为一储存数个基板之晶盒的结构俯视图。第三图为本发明之晶盒储架的结构俯视图。第四图A为第三图之晶盒储架的结构前视图。第四图B为第四图A之晶盒储架的结构前视图,其中具有复数个晶盒。第五图A为第三图之晶盒储架的结构侧视图。第五图B为第四图A之晶盒储架的结构侧视图,其中具有复数个晶盒。第六图为装卸机台上之抓取器的结构俯视图。第七图A、第七图B以及第七图C系用以说明抓取器如何将晶盒举起及移动。第八图A以及第八图B为晶盒储架之结构前视图,用以说明抓取器将晶盒于载入平台与装卸机台之间移动的路径。第九图为装卸机台与晶盒储存台藉由一跨机台移转机构而连结之结构前视图。第十图为本发明晶盒储存台的另一实施例。 |
