发明名称 Aufhängevorrichtung für Werkstücke bei ihrer Behandlung mittels einer elektrischen Glimmentladung
摘要 The present invention relates to a suspension device for workpieces to be treated by an electrical glow discharge in a gas atmosphere in a metal container and connected, via an insulated current lead-in, with a pole of the source of current.
申请公布号 CH542024(A) 申请公布日期 1973.09.30
申请号 CH19720012594 申请日期 1972.08.25
申请人 ELEKTROPHYSIKALISCHE ANSTALT BERNHARD BERGHAUS 发明人 RORDORF,HORST
分类号 H05B7/16;C23C8/36;H01L21/00;(IPC1-7):B25B11/00 主分类号 H05B7/16
代理机构 代理人
主权项
地址