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发明名称 WAFER, EPITAXIAL FILTER, AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 KR20010088807(A) 申请公布日期 2001.09.28
申请号 KR1020017003434 申请日期 2001.03.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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