| 摘要 |
<p>Полупроводниковият микромеханичен пиезорезистивендетектор с биморфен актюатор представлява прибор,в който са интегрирани четири елемента: микромеханична греда, двуслоен актюатор с нагревател, полупроводников пиезорезистивен детектор и чувствителенелемент. Приборът може да измерва различни параметри на околната среда в зависимост от вида на чувствителния елемент чрез регистриране изменението нарезонансната честота на микромеханичната греда. Генериране на механичните трептения и регистриране на честотата на механичния резонанс се осъществявачрез пропускане на ток с променлива честота презнагревателя на биморфния актюатор.</p> |
