发明名称 ANTIREFLEXIONS-UNTERBESCHICHTUNGEN DURCH BRECHUNGSINDEXMODIFIKATION MIT ANOMALER DISPERSION
摘要
申请公布号 DE69706288(D1) 申请公布日期 2001.09.27
申请号 DE19976006288 申请日期 1997.03.06
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 DAMMEL, R.;NORWOOD, A.
分类号 H01L21/027;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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