MICROMECHANICAL COMPONENT AND BALANCING METHOD

摘要

Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere einen Drucksensor, mit einem Substrat (2), welches einen Membranbereich (10) und einen Umgebungsbereich des Membranbereichs (10) aufweist; mindestens einen in dem Membranbereich (10) vorgesehenen durch Verformung des Membranbereichs (10) veränderlichen Messwiderstand (4a, 4b, 41, 42); einer in dem Umgebungsbereich vorgesehenen, entsprechenden Auswerteschaltung (50), wobeidurch eine Verformung von Teilen, insbesondere Leiterbahnen, der Auswerteschaltung (50) relativ zum Substrat (2) ein Störeinfluss auf den Messwiderstand (4a, 4b; 41, 42) erzeugbar ist; und mindestens einem im Umgebungsbereich und/oder im Membranbereich (10) vorgesehenen Flecken (60; 70, 70') aus einem derartigen Material, dass durch eine Verformung des oder der Flecken (60) relativ zum Substrat (2) ein analoger Störeinfluss derart erzeugbar ist, dass der auf den Messwiderstand (4a, 4b; 41, 42) wirkende Störeinfluss kompensierbar ist. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Abgleichverfahren an einen Testchip oder als Einzelendabgleich.