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发明名称 Method for optimizing probe card analysis and scrub mark analysis data
摘要
申请公布号 EP1061381(A3) 申请公布日期 2001.09.26
申请号 EP20000112260 申请日期 2000.06.07
申请人 APPLIED PRECISION, INC. 发明人 STROM, JOHN
分类号 G01R1/06;G01R1/00;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;G01R35/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R35/00 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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