发明名称 | 水溶性树脂组合物 | ||
摘要 | 一种水溶性树脂组合物,其中包含有(1)水溶性树脂,(2)水溶性交联剂,(3)表面活性剂,它至少选自下列物质之一,炔属醇类,乙炔二醇类,炔属醇的乙氧基化物和乙炔二醇的乙氧基化物,以及(4)溶剂,该溶剂可以是水或一个由水与一个水溶性溶剂所组成的混合物。将该水溶性树脂组合物涂敷在光致抗蚀图案上,接着加热并通过抗蚀(剂)层提供的酸使其交联化,然后通过显影(冲洗)除去未交联化的水溶性树脂涂层,该水溶性树脂组合物具有在抗蚀图案上面的涂敷性能,而且在制作精致图案时具有优良的尺寸调节性能。因此,可以使抗蚀图案,例如沟槽图案与孔穴图案有效地得到精致。 | ||
申请公布号 | CN1314931A | 申请公布日期 | 2001.09.26 |
申请号 | CN00801157.5 | 申请日期 | 2000.06.16 |
申请人 | 克拉瑞特国际有限公司 | 发明人 | 神田崇;田中初幸 |
分类号 | C08L101/14;C08K5/05;C08K5/06;G03F7/004;H01L21/027 | 主分类号 | C08L101/14 |
代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
主权项 | 1.一个包含有水溶性树脂,水溶性交联剂,表面活性剂和溶剂的水溶性树脂组合物,并它能在有酸的情况下发生交联化反应,其中该表面活性剂至少是下列物质之一,炔属醇类,乙炔二醇类,炔属醇的聚乙氧基化物,乙炔二醇的聚乙氧基化物。 | ||
地址 | 瑞士穆滕茨 |